образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона

ozono sukeltas neišryškinto fotorezisto susidarymas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. ozone induced scumming vok. Entstehung von nicht entwickelten Stellen im Resist infolge Ozoneinwirkung, f rus. образование непроявленного фоторезиста из-за присутствия озона, n pranc. formation de photorésist non développé induite par ozone, f